下载一种新型结构的石墨舟片的技术资料

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本实用新型公开了一种新型结构的石墨舟片,包括石墨舟片本体,在所述石墨舟片本体的正反两面上沿其长度方向对称设有多个硅片定位腔体,在所述硅片定位腔体的周围设有多个用于将硅片卡接在硅片定位腔体上的卡点,所述卡点的横截面为扇形结构,所述硅片定位腔体...
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