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本实用新型主要涉及一种多晶硅熔炉抽真空装置，属于机械加工领域，包括筒体，所述筒体上端装有上盖，所述上盖上端中间位置设有物料室，所述上盖上端装有支撑杆，所述支撑杆连有横调节杆，所述横调节杆一端装有压力传感器，所述压力传感器通过金属丝与压力表相...
该专利属于浙江启瑞电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江启瑞电子有限公司授权不得商用。

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