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光子增强的场效应晶体管和集成电路制造技术
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文档序号:18353490
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本发明公开了一种光子增强的场效应晶体管和集成电路,其中该光子增强的场效应晶体管包括:半导体层;设置在所述半导体层之中的源区和漏区;形成在所述半导体层之上的栅结构;形成在所述半导体层下表面的发光结构,其中,所述发光结构用于产生光子以激发所述半...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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