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本发明涉及一种自动光学检测设备的校准方法及自动修复系统，所述自动光学检测设备的校准方法，包括：获取修复设备已修复的基板制程缺陷的偏移信息；偏移信息包括基板制程缺陷的坐标与修复设备的第一镜头的中心的坐标之间的偏移量；统计偏移信息，得到平均偏移...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司授权不得商用。