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一种工件温度检测装置及纳米材料制作设备，通过热电偶连接真空腔室中的工件及转轴上的电偶端子，电偶端子通过转轴与活动端子连接，活动端子与环形端子盘活动接触，环形端子盘与温度测量仪表连接，如此将真空腔室中的工件的实际温度传导至温度测量仪表上进行测...
该专利属于嘉兴岱源真空科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴岱源真空科技有限公司授权不得商用。

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