下载一种用于化学气相沉积的反应器的技术资料

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本实用新型描述了一种用于化学气相沉积的反应器,包括晶片托架跟可旋转主轴,在本实用新型中,晶片托架在装载位置和沉积位置之间进行迁移。在沉积位置,晶片托架被可分离地安装在可旋转主轴的一端上,晶片托架与可旋转主轴接触的底部有环形凹槽,相对应的可旋...
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