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一种纳米材料制作设备制造技术
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文档序号:18329564
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一种纳米材料制作设备,包括设备主体及泵,所述设备主体包括基座、位于基座中的油箱及沉淀箱、位于基座及沉淀箱上方的基材台、位于基材台顶部的出油口、位于基材台外部的靶座,以及设置于靶座上的磁控靶,所述油箱中盛有硅油,所述泵通过泵管与油箱及出油口连...
该专利属于嘉兴岱源真空科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过嘉兴岱源真空科技有限公司授权不得商用。
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