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一种靶材组件的形成方法，包括：提供靶材、背板和中间层，所述中间层具有相对的第一端面和第二端面；采用第一电子束焊接工艺焊接所述靶材和中间层的第一端面，所述中间层的材料在第一电子束焊接工艺中的流动性强于靶材的材料在第一电子束焊接工艺中的流动性；...
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