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本发明公开了一种关于硅片的自动清洗烘干设备，涉及电子设备领域，包括设备主体，所述设备主体包括烘干间和清洗间，所述烘干间位于清洗间的上方，所述设备主体的上方设置有气压缸，所述气压缸的伸缩杆端部设置有内部中空的长方体状放置箱；所述放置箱的一侧面...
该专利属于郑州金恒电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过郑州金恒电子技术有限公司授权不得商用。

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