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本实用新型公开一种晶圆固定装置，其中，晶圆固定装置包括卡盘，卡盘包括一承载面，卡盘还设置有真空管路、真空孔和密封圈中的任意一个或几个，密封圈为空心结构并突出于承载面，密封圈包括突出于承载面的形变部、以及安装在承载面上的安装部。本实用新型技术...
该专利属于深圳中科飞测科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技有限公司授权不得商用。

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