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一种机台的调试方法和机台，所述调试方法包括：提供机台，所述机台工艺腔腔壁上具有金属网格；采用含N的氧化气体对所述金属网格进行钝化处理，在所述金属网格表面形成钝化层。由于所述氧化气体为含N的氧化气体，所述氧化气体的氧化速率较高，能够有效的提高...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。