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一种汽相沉积系统，包括一个或多个用来促进反应剂气体向下游通过的槽道装置，一汽相沉积系统的反应器包括一个或多个槽道来促使反应剂气体在衬托器斜面区段下面通过。一衬托器，在进行基片上外延生长过程中安置在反应器中，它包括一截头的斜面区段和一截头侧面...
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