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掺杂镁的高质量III-V氮化物层及其制法。一种P型氮化镓,氮化铟,或氮化铝层可通过氢化物气相外延(HVPE)方法在兰宝石基片上生产,HVPE过程使用一种金属供料混合物,它包括镁和III族金属(Ga,In,Al)。氮化镓,氮化铟,或氮化铝层可...该专利属于CBL技术公司;松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过CBL技术公司;松下电器产业株式会社授权不得商用。
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掺杂镁的高质量III-V氮化物层及其制法。一种P型氮化镓,氮化铟,或氮化铝层可通过氢化物气相外延(HVPE)方法在兰宝石基片上生产,HVPE过程使用一种金属供料混合物,它包括镁和III族金属(Ga,In,Al)。氮化镓,氮化铟,或氮化铝层可...