下载掺杂镁的III-V氮化物及其制法的技术资料

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掺杂镁的高质量III-V氮化物层及其制法。一种P型氮化镓,氮化铟,或氮化铝层可通过氢化物气相外延(HVPE)方法在兰宝石基片上生产,HVPE过程使用一种金属供料混合物,它包括镁和III族金属(Ga,In,Al)。氮化镓,氮化铟,或氮化铝层可...
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