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本发明公开了一种制造BN模板的方法，包括底层和生长在底层上的模板层，模板使用溅射系统在底层上生长，与底层一起作为功能层，可以用于制备各种光电子或者微电子功能材料。...
该专利属于北京中科优唯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科优唯科技有限公司授权不得商用。

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