下载一种LED制备工艺的技术资料

文档序号:18291249

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本发明提供了一种LED制备工艺,包括通过金属有机化学气相沉积工艺依次沉积在衬底上的缓冲层、N型GaN层、发光层、P型GaN层;所述衬底置于旋转的载片盘上,所述发光层包括周期性层叠的量子阱层和量子垒层,所述周期性层叠的量子阱层、量子垒层至少其...
该专利属于合肥玉晶科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥玉晶科技有限公司授权不得商用。

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