温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种硅片处理方法以及太阳能电池制作方法，本发明技术方案在第一流量的二氯乙烯环境中对待处理硅片进行设定时间的加热处理，可以消除待处理硅片的表面以及反应炉进行清洁处理，在第二流量的二氯乙烯气体以及设定流量的氧气构成的混合气体环境中对...
该专利属于浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。