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一种MnWO4纳米板光敏场效应晶体管及其制造方法技术
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下载一种MnWO4纳米板光敏场效应晶体管及其制造方法的技术资料
文档序号:18291230
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本发明属于无机半导体纳米材料技术和器件应用领域,特别是指一种MnWO4纳米板光敏场效应晶体管及其制造方法。本发明MnWO4纳米板光敏场效应晶体管,自下至上依次包括栅极金属电极、Si衬底、SiO2绝缘层,SiO2绝缘层上设置单根MnWO4纳米...
该专利属于中国科学院金属研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院金属研究所授权不得商用。
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