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一种多通道窄带滤波像素阵列的制备方法,包括以下步骤:一、在衬底上制作套刻标记和金属遮光栅格;二、在衬底表面制作一层金属铝导电薄膜作为电镀的起始衬底;三、通过紫外光刻形成光刻胶掩膜;四、将制作了光刻胶图形的基片放入电镀液池中电镀;五、去除光刻...
该专利属于湖南宏动光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南宏动光电有限公司授权不得商用。

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