下载六方晶系纤锌矿型单晶、其制备方法、以及六方晶系纤晶矿型单晶基片的技术资料

文档序号:1828220

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本发明提供作为各种器件用基片有用的高纯度且均匀的六方晶系纤锌矿型单晶。该单晶是通过由柱状的晶种至少在m面上进行结晶生长而得到的用AX(A为正电性元素,X为负电性元素)表示的六方晶系纤锌矿型单晶,其中,正电性元素A以外的金属中,2价金属和3价...
该专利属于东京电波株式会社;三菱化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京电波株式会社;三菱化学株式会社授权不得商用。

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