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本发明一种去除多晶硅中杂质磷的方法及装置属于用物理冶金技术提纯多晶硅的技术领域，特别涉及一种利用电子束熔炼技术将多晶硅中的杂质磷去除的方法及装置。该方法中采用双电子束，用旋转水冷铜坩埚的方式使电子束可以充分对多晶硅进行熔炼，可以在熔炼过程中...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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