下载微电铸装置的技术资料

文档序号:1826747

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本发明是一种微电铸装置,包括:阴极夹具,阴极,电铸液搅拌管,进液口,电场分布挡板,电场分布挡板定位挡板,出液口,阳极,微电铸槽。阳极和阴极夹具垂直设置于微电铸槽的侧面成彼此面对,阴极置于阴极夹具中,微电铸槽的侧板中设置有用于固定阳极和阴极夹...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。

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