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本发明提出一种电子束扫描程式参数自调整方法，包括下列步骤：建立工艺流程，并加入预扫描程式；选定进行预扫描的区域，并且保存当层最佳影像图片；设定工艺参数调整范围；根据预扫描程式进行小范围扫描，通过对比在设定的工艺参数调整范围内找到最佳参数值；...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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