下载直拉法中大直径单晶拉制工艺的导流结构及导流方法的技术资料

文档序号:18251011

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种直拉法中应用于大直径单晶拉制工艺的导流结构及导流方法,其特殊之处是:在导流筒内侧设置导流导热筒,所述导流导热筒下端面与导流筒的下端面的距离为30~50mm,所述导流导流筒上安装导热管,所述导热管穿出炉盖并与炉外水冷系统的冷却水管相连接,...
该专利属于锦州神工半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过锦州神工半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。