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直拉法中大直径单晶拉制工艺的导流结构及导流方法技术
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文档序号:18251011
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一种直拉法中应用于大直径单晶拉制工艺的导流结构及导流方法,其特殊之处是:在导流筒内侧设置导流导热筒,所述导流导热筒下端面与导流筒的下端面的距离为30~50mm,所述导流导流筒上安装导热管,所述导热管穿出炉盖并与炉外水冷系统的冷却水管相连接,...
该专利属于锦州神工半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过锦州神工半导体有限公司授权不得商用。
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