下载用于通用材料加工设备的衬垫设计和结构的技术资料

文档序号:1824802

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提供一种能有助于控制用于加工衬底(10)的电解液流体和电场分布的设备(300)。该设备包括一个具有一个预先确定形状的顶部表面和一个底部表面的刚性构件(320)。刚性构件(320)包括多个沟道(324),每个沟道都形成一个从底部表面到顶部表面...
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