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微电铸金属模具的制作方法技术
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文档序号:1824157
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一种微电铸金属模具的制作方法属于微制造技术微电铸金属模具领域,微电铸金属模具的制作方法包括模具基底前处理、微电铸母模的制作、微电铸、微电铸后处理、模具的检测工序。采用“无背板生长法”,无背板生长法就是通过紫外线照射光刻掩模板直接在镍基板上电...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。
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