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一种三维微细结构电铸方法及装置，属于微细加工领域。该方法是用屏蔽阳极膜板限制电沉积发生的区域。计算机控制电源供电，使电沉积过程间隔进行。在非电沉积时间段，使屏蔽阳极膜板与阴极相对移动，根据零件轮廓形状确定其ｘ、ｙ方向上的相对位移。同时，在每...
该专利属于南京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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