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本发明提供一种光阻实时检测装置，包括工台，设置于工台上的基板，口金，口金用于在基板上涂布光阻，工台上还设置有光学检测件和与光学检测件电连接的控制件，口金在基板沿第一方向上涂布光阻时，光学检测件对光阻进行检测，并反馈检测信号至控制件，控制件将...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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