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本公开提供了一种高纯氮气检测方法及装置，该方法基于离子迁移谱原理，采用负电晕电离法将样品气体电离形成离子，使形成的离子在漂移电场的作用下发生漂移，以使杂质离子分离，并对分离出的杂质离子进行检测，获得样品气体中的杂质浓度。更进一步提供了实现该...
该专利属于中国科学院电子学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电子学研究所授权不得商用。

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