下载多晶硅锭铸锭炉内腔结构的技术资料

文档序号:18224358

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本实用新型属于多晶硅生产技术领域。一种多晶硅锭铸锭炉内腔结构,包括壳体;保温腔室,所述保温腔室包括侧保温板和顶保温板,所述侧保温板和顶保温板上均独立设置有升降组件,且侧保温板与顶保温板之间相对密封滑动配合;侧加热器、顶加热器、以及坩埚,所述...
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