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多晶硅锭铸锭炉内腔结构制造技术
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文档序号:18224358
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本实用新型属于多晶硅生产技术领域。一种多晶硅锭铸锭炉内腔结构,包括壳体;保温腔室,所述保温腔室包括侧保温板和顶保温板,所述侧保温板和顶保温板上均独立设置有升降组件,且侧保温板与顶保温板之间相对密封滑动配合;侧加热器、顶加热器、以及坩埚,所述...
该专利属于河南省博宇新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河南省博宇新能源有限公司授权不得商用。
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