下载一种抛光垫及用于制备抛光垫的方法的技术资料

文档序号:18220110

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本发明提供一种抛光垫及用于制备抛光垫的方法,抛光垫的制备方法包括如下步骤:将液体预聚物、固化剂与中空微元件在50~85℃混合,以形成可固化混合物,所述可固化混合物的粘度为3000‑20000cps,凝胶后固化,即得;所述液体预聚物为由多元醇...
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