下载具有气隙间隔物的半导体器件及制造其的方法的技术资料

文档序号:18206696

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种制造半导体器件的方法包括:提供包括单元区和外围电路区的衬底,单元区包括位线结构、位线间隔物和下电极,外围电路区包括第一杂质区至第三杂质区;在外围电路区上形成层间绝缘膜;在层间绝缘膜上形成第一金属层;在第一杂质区与第二杂质区之间在第一金属...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。