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本发明提供了一种晶圆转移装置及晶圆清洗装置，属于传输设备领域。该晶圆转移装置包括横梁、水平移动装置、竖直移动装置及拾取装置，横梁设置在水平移动装置上，水平移动装置用于使横梁在水平方向上移动；竖直移动装置设置在横梁上，竖直移动装置用于使拾取装...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。