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本申请实施例公开了一种测试图形的选取方法和装置，该选取方法包括根据设计规则、实际电路版图和/或随机版图设计初始测试图形；根据简化模型对初始测试图形进行光学仿真，得到初始测试图形在预设参数取值范围内的分布；根据初始测试图形在预设参数取值范围内...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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