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本发明提供了一种高可靠性集成电路板的制备方法，分别在集成电路板的氧化、化学气相沉积、曝光、刻蚀和磁控溅射工序前，采用如下清洗步骤：步骤1：将集成电路板置于网状清洗篮后，浸泡于清洗液中，在80～120kHZ频率下超声清洗3～5min，其中，超...
该专利属于苏州赛源微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州赛源微电子有限公司授权不得商用。

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