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一种微流体换向阀芯片及其制造方法技术
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文档序号:18162633
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本发明公开了一种微流体换向阀芯片,包括微通道层、基片、基底和叉指形电极;所述微通道层位于整个芯片的上层,基片位于整个芯片的中间,基底位于整个芯片的下层,三者相互连接;所述基底开有两个温控沟槽,一个用于存放高于室温的液体,另一个用于存放低于室...
该专利属于河北工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过河北工业大学授权不得商用。
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