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一种用于等离子体反应器（９３０）的法拉第屏蔽（３００）具有可变的屏蔽效率。该屏蔽（３００）被分成许多可以单独选择接地或非接地的屏蔽片段（３２０）。完全非接地和完全接地状态之间转变的速率是可控的，从而在转变过程中保持等离子反应器（９３０）中稳...
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