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共蒸发结合后退火工艺制备AlSb薄膜制造技术
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文档序号:1815174
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共蒸发结合后退火工艺制备AlSb薄膜,本项发明所属域为新型光电子材料。在开发新型太阳能电池材料的过程中,AlSb由于具有能隙宽度为1.6eV,可吸收太阳可见光谱能量的98%因而受到人们的重视。目前制备高质量AlSb薄膜的方法和手段较少,主要...
该专利属于四川大学所有,仅供学习研究参考,未经过四川大学授权不得商用。
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