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本发明涉及一种具有倾斜坩锅的蒸发设备。该设备包括至少一个蒸发坩锅（１００），该蒸发坩锅（１００）具有用于蒸发材料（３００）的蒸发表面，其中，蒸发表面相对于水平以倾斜角度（α）倾斜。本发明还提供用于蒸发衬底的方法，其包括以下步骤：提供竖直定向...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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