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多弧－磁控溅射多功能镀膜设备，属于一种镀覆设备。该设备在多弧离子镀设备中通过法兰密封在真空室的顶部或底部的轴线上装有磁控溅射靶（或加热器），每个弧源处装有挡板（或拿掉挡板）。因此它不仅能进行高温镀膜，又可在辉光放电下进行低熔点的金属与非金属...
该专利属于航空航天工业部第五研究院五一一研究所所有，仅供学习研究参考，未经过航空航天工业部第五研究院五一一研究所授权不得商用。

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