下载用于系统级封装的TSV转接板的技术资料

文档序号:18117512

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本发明涉及一种用于系统级封装的TSV转接板,包括:Si衬底(101);至少两个TSV区(102),设置于所述Si衬底(101)内;至少两个隔离区(103),设置于所述Si衬底(101)内并位于每两个所述TSV区(102)之间;二极管(104...
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