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本实用新型涉及一种基片冷却装置，该基片冷却装置包括：密封的基片冷却室；用于在基板冷却室中支撑并传送基片的基片支撑架；至少一个冷却板以及对至少一个冷却板进行冷却的冷却系统；其中该至少一个冷却板和基片之间成一定间隙，基片冷却装置进一步设置有用于...
该专利属于深圳豪威真空光电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳豪威真空光电子股份有限公司授权不得商用。

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