温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种离子镀膜装置，主要由真空镀膜室、真空抽气系统、主弧电源、轰偏电源、加热测量装置、配气系统和控制台组成，其特征在于两个真空镀膜室分立，构成左右两部分，共用一套电源系统、电控系统和抽空系统，主抽气管道与两个真空镀膜室相联，两室...
该专利属于徐惠生所有，仅供学习研究参考，未经过徐惠生授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。