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通过一真空系统用来连续地在材料上沉积的装置和方法．所提供的盒式载体用于双衬底和激励电极．减少系统的污染和所加涂层的混合掺杂．...
该专利属于克朗纳公司所有，仅供学习研究参考，未经过克朗纳公司授权不得商用。

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