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本发明公开了基于密度为理论密度的至少９５％且有不足化学计量氧含量的热压或均衡热压氧化铟／氧化锡粉末的阴极雾化靶。为了按此制成具有高强度和高溅射速度的靶，本发明提出使该靶具有晶体相，其重量组成的至少９０％，优选至少９７％为氧化铟和氧化锡的混合...
该专利属于W.C.贺利氏股份有限两合公司所有，仅供学习研究参考，未经过W.C.贺利氏股份有限两合公司授权不得商用。

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