下载纳米硅粉的制备方法的技术资料

文档序号:18100732

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本发明属于材料化学技术领域,具体涉及一种纳米硅粉的制备方法;包括如下步骤:(1)向等离子发生器中引入硅烷,经电离分解,重新成核得到纳米硅颗粒;(2)纳米硅颗粒经过气固分离和冷却后,得到纳米硅粉;上述各步骤均在氮气环境下进行;本发明提供的制备...
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