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用于圆片形工件的溅射镀膜装置，它包含：一个闸室（３），一个溅射源（７），一个运输室（１），一个运输机构（１３），其特征在于：闸室和溅射源（７）的作用面（７ａ），彼此对峙，运输机构（１３）可以被回转驱动地安置在运输室（１）中，而且包含可径向移...
该专利属于尤纳克西斯巴尔策斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过尤纳克西斯巴尔策斯公司授权不得商用。

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