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本发明提供改进靶的加工方法、防止发生由应力产生的裂纹等的喷溅靶及其制造方法。在具有ａ边和ｂ边、形状比是ａ∶ｂ的矩形靶中，是ａ＜ｂ，在喷溅面和冷却面中的至少喷溅面上具有沿大致垂直于上述ｂ边的方向排列的研磨伤。...
该专利属于三井金属矿业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三井金属矿业株式会社授权不得商用。

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