下载半导体存储装置的技术资料

文档序号:18085804

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本发明是一种电极膜的电阻较低的半导体存储装置。半导体存储装置具备:第一电极膜,沿第一方向延伸;第二电极膜,设置于第一电极膜的第二方向上,沿第一方向延伸;第三电极膜,设置于第一电极膜的第二方向上,沿第一方向延伸;绝缘部件,设置于第二电极膜与第...
该专利属于东芝存储器株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东芝存储器株式会社授权不得商用。

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