温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种硬掩模用组合物，该硬掩模用组合物包含芳香族化合物的聚合物、含有通式1所表示的化合物的交联剂、和溶剂。通式1中，R各自独立地为氢、或碳原子数1或2的烷基，n为2～10的整数。利用该交联剂能够形成耐热性和涂布性同时提高的硬掩模。通...
该专利属于东友精细化工有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东友精细化工有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。