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一种ESD器件串联电阻的电阻结构制造技术
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文档序号:18081606
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本实用新型提供了一种ESD器件串联电阻的电阻结构,把多晶硅电阻分成N个小部分,每一小部分均通过各自对应的Contact连接到上部金属层;每一小部分所对应的Contact及连接到上部金属层构成了一个独立单元;所述上部金属层采用金属铝材料;所述...
该专利属于清华四川能源互联网研究院所有,仅供学习研究参考,未经过清华四川能源互联网研究院授权不得商用。
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